Plasmaätzen

Plasmaätzen
Plasmaätzen n plasma etching

Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.

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  • Plasmaätzen — ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleiter , Mikrosystem und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff …   Deutsch Wikipedia

  • Plasmaätzen — Plạsma|ätzen,   Abkürzung PE [zu englisch plasma etching], Halbleitertechnik: ein Trockenätzverfahren für die Strukturübertragung auf Halbleiterbauelemente, bei dem ein »Parallelplattenreaktor« als Rezipient verwendet wird. Die Elektroden, die… …   Universal-Lexikon

  • Plasmaätzen im Trommelreaktor — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • radikales Plasmaätzen — radikalinis plazminis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radical plasma etching vok. radikales Plasmaätzen, n rus. радикальное плазмохимическое травление, n pranc. décapage radicalaire par plasma, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Plasma-Ätzen — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… …   Deutsch Wikipedia

  • RIE-Prozess — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… …   Deutsch Wikipedia

  • Plasma-Physik — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne …   Deutsch Wikipedia

  • Plasmagas — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne …   Deutsch Wikipedia

  • Plasmaphysik — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne …   Deutsch Wikipedia

  • Plasmastrahl — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne …   Deutsch Wikipedia

  • Plasmazustand — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne …   Deutsch Wikipedia

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